[发明专利]一种Ge‑Sb‑Se硫系纳米线的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510909387.7 申请日: 2015-12-10
公开(公告)号: CN105480955B 公开(公告)日: 2017-09-05
发明(设计)人: 李增光;吕业刚;马亚东;沈祥;王国祥;戴世勋 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C01B19/00 分类号: C01B19/00;B82Y40/00
代理公司: 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)33226 代理人: 何仲
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 ge sb se 纳米 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种Ge-Sb-Se硫系纳米线的制备方法,其特征在于:采用高纯度的Ge20Sb15Se65玻璃粉末作为原料,采用水平管式炉装置,以高纯氩气作为工作气体,采用镀金硅片衬底材料进行表面沉积,具体步骤如下:

(1)采用硅片作为衬底,先放在去离子水中用超声清洗20分钟,再放入无水乙醇中用超声清洗20分钟,最后用高纯氮气吹干;

(2)将硅片放入镀金设备中进行镀金,镀金厚度为100~200nm;

(3)称量Ge20Sb15Se65原料0.3~0.5g放入石英坩埚中,并将坩埚置于水平管式炉的高温区,另外将镀金衬底置于低温区;其中所述的高温区的Ge-Sb-Se原料处在气流的上游,所述的低温区的镀金硅片处在气流的下游;所述的高温区与所述的低温区之间的距离为10~20cm;

(4)将水平管式炉抽真空,待管内真空度达到0.02~0.03torr时,向水平管式炉内通入氩气,氩气流量为100~150sccm,10分钟后开始加热,待温度达到设定温度后保持90~120分钟,管内真空度保持在1~5torr,所述的高温区的设定温度为450~550℃,所述的低温区的设定温度为300~400℃;

(5)沉积结束后,让炉内自然降温,待温度降到70℃时,取出分布有Ge-Sb-Se纳米线的镀金衬底,即得到Ge-Sb-Se硫系纳米线。

2.根据权利要求1所述的一种Ge-Sb-Se硫系纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(1)中所述的衬底为SiO2/Si(100)基片。

3.根据权利要求1所述的一种Ge-Sb-Se硫系纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述的高温区的设定温度为500℃,所述的低温区的设定温度为400℃。

4.根据权利要求1所述的一种Ge-Sb-Se硫系纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(4)中所述氩气为高纯氩。

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