[发明专利]一种薄片运输手爪装置

说明书

本发明提供了一种薄片运输手爪装置，包括：吸盘、法兰盘、摆臂下盘、摆臂上盘、摆臂；其中，所述法兰盘上设置有一中心柱；所述摆臂下盘固定连接于所述摆臂的第一面，所述摆臂上盘固定连接于所述摆臂的第二面；所述中心柱穿过所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂；其中，所述摆臂的第一面和所述摆臂的第二面是所述摆臂上相对的两个面；所述吸盘与所述法兰盘固定连接，所述中心柱与所述法兰盘的第一面连接，所述吸盘与所述法兰盘的第二面连接；其中，所述法兰盘的第一面和所述法兰盘的第二面是所述法兰盘上相对的两个面。本发明解决了传统薄片抓取装置可靠性低、结构复杂的技术问题。

技术领域

本发明涉及一种运输装置，特别涉及一种薄片运输手爪装置。

背景技术

在半导体专用设备制造过程中，实现超薄硅片的自动取、放和自动传输是一项关键技术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片抓取装置有：夹持式、电磁吸附式和真空吸盘吸附式等。其中，夹持式的晶片抓取装置容易造成晶片损坏，电磁吸附式的晶片抓取装置和真空吸盘吸附式晶片抓取装置结构较为复杂，零件加工难度大，还存在难于控制的问题。

发明内容

本发明提供了一种薄片运输手抓装置，其目的是为了解决传统薄片手抓装置可靠性低、结构复杂的技术问题。

为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种薄片运输手爪装置，包括：吸盘、法兰盘、摆臂下盘、摆臂上盘、摆臂；其中，

所述法兰盘上设置有一中心柱；

所述摆臂下盘固定连接于所述摆臂的第一面，所述摆臂上盘固定连接于所述摆臂的第二面；所述中心柱穿过所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂；其中，

所述摆臂的第一面和所述摆臂的第二面是所述摆臂上相对的两个面；

所述吸盘与所述法兰盘固定连接，所述中心柱与所述法兰盘的第一面连接，所述吸盘与所述法兰盘的第二面连接；其中，

所述法兰盘的第一面和所述法兰盘的第二面是所述法兰盘上相对的两个面。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述吸盘上设有一微孔陶瓷。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述法兰盘的径向设有一真空通道。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述真空通道的靠近所述法兰盘中心的一端与微孔陶瓷导通连接。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述吸盘和所述法兰盘的第二面通过螺钉固定连接。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂下盘和所述摆臂上盘分别通过螺钉与所述摆臂固定连接。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂的中心孔内壁连接有一直线滚珠导套。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述摆臂下盘、所述摆臂上盘和所述摆臂通过所述直线滚珠导套套设在所述中心柱上，并通过螺帽锁止。

其中，上述薄片运输手爪装置中，还包括弹簧，所述弹簧套设在所述中心柱上。

其中，上述薄片运输手爪装置中，所述弹簧连接于所述法兰盘和直线滚珠导套。

本发明的上述方案有如下的有益效果：

本发明实施例提供的一种薄片运输手爪装置，不仅简单实用、操作方便，并且具有结构可靠、运行平稳的优点。由于采用了弹簧和直线滚珠导套的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，能够起到缓冲的作用，防止碎片。

附图说明

图1为发明实施例的薄片运输手抓装置的剖面图；

图2为发明实施例的薄片运输手抓装置的实体图；

图3为发明实施例的法兰盘的剖面图；