主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2020-02-14 公布专利
2020-02-11 公布专利
2020-02-07 公布专利
2020-02-04 公布专利
2020-01-31 公布专利
2020-01-24 公布专利
2020-01-21 公布专利
2020-01-17 公布专利
2020-01-14 公布专利
2020-01-10 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »

等离子处理装置以及等离子处理方法有效

申请号: CN201410113648.X 文献下载
申请日: 2014-03-25 公开/公告日: 2018-11-23
公开/公告号: CN104143508B 主分类号: H01L21/3065
申请/专利权人: 松下知识产权经营株式会社
发明/设计人: 西崎展弘;针贝笃史;岩井哲博;广岛满
分类号: H01L21/3065
搜索关键词: 等离子 处理 装置 以及 方法
 
我不想注册,点击直接下载立即登录,下载文献升级会员,免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下知识产权经营株式会社,未经松下知识产权经营株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

 
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 樊建中
【权利要求书】:

1.一种等离子处理装置,其对由保持片和在所述保持片的外周缘附近的粘着面贴着的环状的框构成的输送载体所保持的基板实施等离子处理,所述等离子处理装置的特征在于,

具备:

室,其具有能够减压的内部空间;

等离子源,其使所述室内产生等离子;

台,其被设置于所述室内并载置所述输送载体;

盖子,其配置于所述台的上方并覆盖所述保持片和所述框,具有在厚度方向上贯通地形成在中央部的窗部以及在下表面的外周部所设置的载置面;和

驱动机构,其将所述盖子相对于所述台的相对位置变更为第1位置和第2位置,所述第1位置是离开所述台并容许所述输送载体相对于所述台的装卸的位置,所述第2位置是所述盖子与所述框、所述保持片、所述基板的任一个均不接触地覆盖在所述台上载置的所述输送载体的所述保持片和所述框、且所述窗部使所述保持片所保持的所述基板露出并且所述载置面与所述台进行面接触的位置,

所述盖子的窗部,使所述基板的比外缘区域更靠内侧的区域露出,

所述驱动机构具备固定于所述盖子的所述载置面的驱动杆。

2.根据权利要求1所述的等离子处理装置,其特征在于,

所述盖子,在构成窗部的内缘部下表面,具有与所述基板对置的对置面。

3.根据权利要求1或2所述的等离子处理装置,其特征在于,

所述盖子所覆盖的基板的外缘区域,是从基板的外缘起向内侧5mm以下的范围。

4.一种等离子处理方法,其特征在于,

准备具有保持片和在所述保持片的外周缘附近的粘着面贴着的环状的框的输送载体,

使基板保持在所述输送载体的保持片上,

将所述输送载体运入等离子处理装置的室内并载置于台上,

用盖子与所述框、所述保持片、所述基板的任一个均不接触地覆盖所述输送载体的所述保持片和所述框,通过形成于所述盖子的窗部,使所述基板的外缘区域的内侧露出,并且通过固定于在所述盖子的下表面的外周部所设置的载置面的驱动杆,使所述载置面与所述台进行面接触,其中所述盖子配置于所述台的上方并覆盖所述保持片和所述框,且具有在厚度方向上贯通地形成在中央部的窗部、和设置于下表面的外周部的载置面,

在所述室内产生等离子,并对从所述窗部露出的基板实施等离子处理。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
我不想注册,点击直接下载立即登录,下载文献升级会员,免费下载

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410113648.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top
定制专利/购买专利

行业大牛为您服务 快来咨询~

4008765105 / 022-60709568