[发明专利]磁性轴承装置及真空泵

权利要求书

1.一种磁性轴承装置，其特征在于包括：

一对电磁铁，针对多个控制轴的每一个而设置，且相对于旋转轴而对向配置；

多个激磁放大器，对施加至所述各电磁铁的电压进行脉宽调制控制，且将重叠有用来侦测所述旋转轴的悬浮位置变化的传感器载波信号的电磁铁电流供给至所述各电磁铁；

多个电流传感器，检测所述电磁铁电流；及

控制部，对来自所述多个电流传感器的电流检测信号、及将与所述一对电磁铁相关的一对所述电流检测信号相加所得的和信号进行模拟数字采样，而取得所述旋转轴的磁悬浮信息，基于所述磁悬浮信息而对所述激磁放大器进行脉宽调制控制；

所述控制部是以使脉宽调制载波信号的接通占空比区间或断开占空比区间的长度一直比基于电磁铁电流中产生的尖峰噪声的衰减特性所得的规定时间范围更长的方式进行脉宽调制控制，且在从所述接通占空比区间或所述断开占空比区间的开始时间起经过所述规定时间范围之后进行所述模拟数字采样。

2.根据权利要求1所述的磁性轴承装置，其特征在于：

针对所述电流检测信号，包括具有比脉宽调制载波频率更高的带域的低通滤波器，且

所述控制部对通过所述低通滤波器后的所述电流检测信号进行所述模拟数字采样。

3.根据权利要求2所述的磁性轴承装置，其特征在于：

包括从所述和信号中去除直流成分的高通滤波器，且

所述控制部对通过所述高通滤波器后的所述和信号进行模拟数字采样。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁性轴承装置，其特征在于：

将所述脉宽调制载波信号的频率fpwm、所述传感器载波信号的频率fc、及所述模拟数字采样的频率fs设定为整数倍的关系，且

所述控制部同时总括地对与所述多个电磁铁的每一个相关的多个所述电流检测信号及所述和信号进行模拟数字采样。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的磁性轴承装置，其特征在于：

以fpwm>fs>fc的方式设定脉宽调制载波频率fpwm、模拟数字采样频率fs及传感器载波频率fc。

6.一种真空泵，其特征在于包括：

泵转子，形成有排气功能部；

电动机，对所述泵转子进行旋转驱动；及

权利要求1至5中任一项所述的磁性轴承装置，对所述泵转子的旋转轴进行磁悬浮支撑。