[发明专利]微机械构件、其制造方法和用于运行微机械构件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种微机械构件。本发明同样涉及用于微机械构件的制造方法。此外本发明涉及用于运行微机械构件的方法。

背景技术

在DE 10 2008 001 896 A1中说明了一种微机械构件和用于微机械构件的一种制造方法。微机械构件的一实施方式包括一驱动框架，其通过两个框架弹簧与一保持装置连接并且在其上构造有一线圈装置。驱动框架框住一反射镜元件，该反射镜元件借助两个反射镜弹簧悬挂在驱动框架上。在此，反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间。

发明内容

本发明提供了一种微机械构件,具有：一保持装置；一驱动框架，具有至少一个在所述驱动框架上和/或内布置的、能通电的线圈装置，所述驱动框架通过至少一个框架弹簧与所述保持装置连接；一由所述驱动框架至少部分地框住的反射镜元件，所述反射镜元件借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上，其中，所述反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间并且能绕反射镜转动轴线相对所述驱动框架调整，其中，所述反射镜元件关于所述反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上,所述驱动框架借助两个关于框架弹簧对称轴线对称构造的框架弹簧悬挂在所述保持装置上，并且其中，所述反射镜转动轴线平行于所述框架弹簧对称轴线取向和/或位于所述框架弹簧对称轴线上。

本发明提供了一种用于微机械构件的制造方法，具有如下步骤：借助至少一个框架弹簧在一保持装置上悬挂一驱动框架，所述驱动框架具有至少一个布置在所述驱动框架上和/或内的、能通电的线圈装置；将一反射镜元件借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上，使得 所述反射镜元件由所述驱动框架至少部分地框住并且布置在所述第一反射镜弹簧和所述第二反射镜弹簧之间；其中，所述反射镜元件关于反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上，所述反射镜元件在所述微机械构件运行时借助所述驱动框架的驱动运动绕所述反射镜转动轴线相对所述驱动框架进行调整。

本发明还提供了一种用于运行微机械构件的方法，所述微机械构件具有：一保持装置；一通过至少一个框架弹簧与所述保持装置连接的驱动框架；一由所述驱动框架至少部分地框住的、借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上的反射镜元件，其中，所述反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间，并且其中，所述反射镜元件关于反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上，具有如下步骤：通过把所述驱动框架置于具有至少一个垂直于所述反射镜转动轴线指向的运动分量的驱动运动中而把所述反射镜元件置于绕所述反射镜转动轴线指向的、相对所述驱动框架的转动运动中。

在驱动框架上关于反射镜转动轴线非对称地悬挂反射镜元件即使在驱动框架直线指向运动的情况下引起到反射镜元件上的转矩。反射镜元件因此已经能够借助将驱动框架置于到直线指向的运动(直线运动)中而绕反射镜转动轴线移动。因为将驱动框架激励到直线运动中比将驱动框架置于到绕转动轴线的转动运动中更容易实施，所以本发明由此能够简单地实现具有可转动的反射镜元件的微机械构件。如在下面被更精确地实施的那样，反射镜元件能够尤其已经借助线性振动的驱动框架被置于绕反射镜转动轴线的共振的转动运动中。基于用于把驱动框架置于线性取向的驱动运动中的致动器装置的简单和低成本的可实现性，因此本发明导致需要很小结构空间的和低成本的微机械构件。尤其地，在该微机械构件的情况下可以取消装备需要耗费的电子装置的致动器装置。

以有利的方式，反射镜元件作为借助两个反射镜弹簧悬挂在驱动框架上的总质量而具有与反射镜转动轴线间隔开的重心。所述反射镜元件关于反射镜转动轴线的不对称的悬挂因此可以理解为：反射镜元件如此悬挂，使得其质量分布关于反射镜转动轴线不对称。如在后面更精确实施的那样，反射镜元件关于反射镜转动轴线的有利的不对称质量分布能够简单地和低成本地实施。

反射镜元件例如包括一盘形的反射镜板，该反射镜板带有在该反射镜板上布置的一附加质量。优选地，该附加质量布置在反射镜板的从反射镜板的光入射面离开指向的背侧面上，其中，该附加质量仅部分覆盖所述背侧面。因此，即使在反射镜板关于反射镜转动轴线对称的情况下保证反射镜元件的有利的不对称性。然而，所述附加质量的构造不限于这里所说明的例子。

作为对此的替换，反射镜元件可以借助两个反射镜弹簧如此地关于反射镜转动轴线偏心地悬挂在驱动框架上，使得反射镜元件的一平行于反射镜转动轴线取向的反射镜中轴线和/或反射镜对称轴线与所述反射镜转动轴线间隔开。因此，在取消在反射镜元件上构造一附加质量的情况下也能够实现反射镜元件关于反射镜转动轴线的希望的不对称性。