[发明专利]用于显示装置的静电电容型触摸屏面板及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸屏面板，包括：

基板，包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部；

多个第一电极序列，在第一方向上布置在该电极形成部中；

多个第二电极序列，在与所述第一方向交叉的第二方向上布置在该电极形成部中，并通过绝缘层与所述多个第一电极序列电绝缘；和

多个静电释放图案，彼此分离地在该电极形成部中形成在所述基板上，

其中所述多个第一电极序列中的每一个都包括：形成在所述绝缘层上的多个第一电极图案；和形成在所述基板上并且将相邻的第一电极图案彼此连接的至少一个第一连接图案，

其中所述多个第二电极序列中的每一个都包括：形成在所述绝缘层上并且不接触所述第一电极图案的多个第二电极图案，和形成在所述绝缘层上并且将相邻的第二电极图案彼此连接的至少一个第二连接图案，

其中每一所述静电释放图案与所述第一连接图案分离且连接至所述第一电极图案且与一部分所述第二电极图案交叠。

2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述第一连接图案经由形成在所述绝缘层中的第一和第二接触孔连接相邻的第一电极图案。

3.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述静电释放图案形成在所述基板上并且不接触所述第一连接图案，并经由第三接触孔连接所述第一电极图案。

4.如权利要求3所述的触摸屏面板，其中所述静电释放图案的一部分与所述第二电极图案交叠并且不接触所述第二电极图案。

5.如权利要求4所述的触摸屏面板，还包括：

多条第一路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第一电极序列连接；和

多条第二路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第二电极序列连接。

6.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述第一连接图案的厚度被设置为所述静电释放图案的厚度的1/12至1/4。

7.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述第一电极图案中的每一个都具有多边形状，所述静电释放图案与所述第一电极图案的每一侧连接。

8.一种制造触摸屏面板的方法，包括：

制备包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部的基板；

通过使用第一掩模工艺，在所述基板的电极形成部中形成多个静电释放图案并且在所述基板的路由线形成部中形成多条第一和第二路由线；

通过使用第二掩模工艺，在所述电极形成部中形成布置在第一方向上并且不与所述静电释放图案接触的多个第一连接图案；

在上面形成有所述静电释放图案、第一和第二路由线以及第一连接图案的基板的整个表面上形成绝缘层，并且通过使用第三掩模工艺，形成暴露出每个第一连接图案的多个部分的第一和第二接触孔以及暴露出每个静电释放图案的至少一部分的第三接触孔；和

通过使用第四掩模工艺，在所述绝缘层上形成在第一方向上平行布置的多个第一电极图案以及在与所述第一方向交叉的第二方向上平行布置的多个第二电极图案，

其中相邻的第一电极图案经由通过所述第一和第二接触孔暴露的第一连接图案彼此连接，所述静电释放图案经由所述第三接触孔与所述第一电极图案接触且与一部分所述第二电极图案交叠。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述第一掩模工艺包括：

在所述基板的整个表面上形成第一导电层；

通过使用第一掩模执行光刻工艺来形成第一光致抗蚀剂图案；和

通过使用所述第一光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影所述第一导电层，通过蚀刻工艺去除所述第一导电层的被曝光并显影的部分，以在所述电极形成部中形成所述静电释放图案并在所述路由线形成部中形成所述第一和第二路由线，其中所述静电释放图案具有第一厚度。