[发明专利]固态拍摄装置以及方法无效
申请号: | 201310084204.3 | 申请日: | 2013-03-15 |
公开(公告)号: | CN103545327A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 佐藤英史 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/374 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 陈海红;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 拍摄 装置 以及 方法 | ||
1.一种固态拍摄装置,其特征在于,包括:
半导体层,其具有设置有多个光电二极管的像素区域和提供用于对从像素产生的信号进行处理的周边电路的周边电路区域;
电源线,为了向所述周边电路供给电源,该电源线设置于所述周边电路区域的所述半导体层的第1主面;
第1布线层,为了向所述电源线供给所述电源,该第1布线层设置于所述周边电路区域的所述半导体层的第2主面;和
多个第1贯通电极,其设置于所述周边电路区域,贯通所述第1主面与所述第2主面之间的所述半导体层;
所述第1贯通电极的至少一部分将所述电源线与所述第1布线层之间电连接。
2.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述第1贯通电极以预定间隔配置于所述周边电路区域。
3.根据权利要求2所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述第1贯通电极的至少1个在所述第1主面上电连接于所述电源线,在所述第2主面上从所述第1布线层电绝缘。
4.根据权利要求3所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述第1贯通电极在所述第1主面上电连接于所述电源线,在所述第2主面上从构成电容或电感的所述第1布线层电绝缘。
5.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
将所述电源线与所述第1布线层之间电连接的所述第1贯通电极被配置成向所述周边电路供给的所述电源的电位在所述周边区域整体为一定。
6.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述第1布线层以至少覆盖所述周边电路区域的方式形成为平面形状。
7.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述周边电路区域包括设置有模拟电路的模拟电路区域和设置有逻辑电路的逻辑电路区域,
将所述电源线与所述第1布线层之间电连接的所述第1贯通电极设置于所述模拟电路区域和所述逻辑电路区域双方。
8.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
进一步包括设置于所述第2主面以及所述周边电路区域的外侧的电源焊盘,
所述电源焊盘从外侧接受所述电源,向所述第1布线层供给所述接受的电源。
9.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于,进一步包括:
第1以及第2信号线,其设置于所述周边电路区域的所述半导体层的所述第1主面,供给处理信号;
第2布线层,其设置于所述周边电路区域的所述半导体层的所述第2主面;和
第3以及第4贯通电极,其设置于所述周边电路区域,贯通所述第1主面与所述第2主面之间的所述半导体层;
所述第3贯通电极将所述第1信号线与所述2布线层电连接,所述第4贯通电极将所述第2信号线与所述第2布线层电连接。
10.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,其特征在于:
所述第2主面为所述光电二极管的光照射侧。
11.一种向固态拍摄装置的周边电路供给电源的方法,该固态拍摄装置包括半导体层,该半导体层具有:设置有多个光电二极管的像素区域,和设有用于对从所述像素产生的信号进行处理的所述周边电路的周边电路区域;该方法的特征在于,包括如下步骤:
从所述半导体层的第1主面向所述周边电路供给电源;
从所述半导体层的第2主面经由设置于所述周边电路区域的多个贯通电极,向所述半导体层的所述第1主面供给电源;和
在所述半导体层的所述第2主面,从所述周边电路区域的外侧向所述周边电路区域供给所述电源。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,进一步包括如下步骤:
在所述半导体层的所述第2主面,经由设置于所述周边电路区域的外侧的贯通电极,从所述周边电路区域外向所述周边电路供给电源。
13.根据权利要求11所述的方法,其特征在于:
所述电源以向所述周边电路供给的所述电源的电位在所述周边区域上为一定的方式供给。
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