[实用新型]微米级集成电路用球形硅微粉生产装置有效

专利信息
申请号: 201220635310.7 申请日: 2012-11-27
公开(公告)号: CN202924750U 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 何书辉 申请(专利权)人: 江苏中腾石英材料科技有限公司
主分类号: C01B33/18 分类号: C01B33/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 微米 集成电路 球形 硅微粉 生产 装置
【权利要求书】:

1. 一种微米级集成电路用球形硅微粉生产装置,其特征在于:所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置包括输送系统、混合系统、加热喷射系统、冷却收集系统、除杂系统、干燥系统和检测系统,其中输送系统连接着混合系统,混合系统连接着加热喷射系统,加热喷射系统连接着冷却收集系统,冷却收集系统连接着除杂系统,除杂系统连接着干燥系统,干燥系统连接着检测系统。

2.根据权利要求1所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置,其特征在于:所述的输送系统包括粉体输送设备;混合系统包括气固两相流拉瓦尔喷管;加热喷射系统包括气体燃料高温火焰喷射机;冷却收集系统包括冷冻干燥机和收集器;除杂系统包括气体分流机和超纯水系统;干燥系统包括高速离心喷雾干燥机;检测系统包括马尔文激光粒度测试仪、拜耳光谱全元素分析仪、欧美克颗粒检测仪和原子吸收分光光度计。

3.根据权利要求2所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置,其特征在于:所述的输送设备连接着气固两相流拉瓦尔喷管,气固两相流拉瓦尔喷管设置有进料口,气体燃料高温火焰喷射机设置有进料口,气固两相流拉瓦尔喷管与气体燃料高温火焰喷射机之间设置有输送机,冷冻干燥机设置有进料口,气体燃料高温火焰喷射机与冷冻干燥机之间设置有输送机,气体分流机设置有进料口,冷冻干燥机与气体分流机之间设置有输送机,收集器设置有进料口,冷冻干燥机与收集器直接设置有输送机,气体分流机同时连接着卧式沉降离心机和涡轮分级机配强力磁选机,高速离心喷雾干燥机设置有进料口,气体分流机与高速离心喷雾干燥机之间设置有输送机,气体分流机与超纯水系统之间设置有输送机,马尔文激光粒度测试仪通过USB与拜耳光谱全元素分析仪、欧美克颗粒检测仪和原子吸收分光光度计连接。

4.根据权利要求3所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置,其特征在于:所述的输送机为皮带输送机。

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  • 本发明公开了一种硅微粉的回收利用方法,包括以下步骤:将回收料放于回收罐中,加入清水,升高回收罐的温度,静置沉降分层,得到下层沉淀物;向装有沉淀物的回收罐中加入回收剂,再加入去离子水,得到第一混合浆液;在第一混合浆液中加入酸液,再匀速搅拌,静置沉降分层,得到回收剂层;将回收剂层放入回收罐中进行加热,回收剂受热蒸发至冷凝罐中,冷凝后回收用于下次使用;向回收罐中加入清水清洗2~3次后,过滤、烘干,得到回收的硅微粉。本发明不污染环境,回收剂可回收再利用,节省了回收成本,同时有效提高了回收效率。
  • 一种表面疏水的沉淀二氧化硅生产设备-201821999891.6
  • 杨景 - 安徽赛立科硅材料有限公司
  • 2018-11-30 - 2019-08-30 - C01B33/18
  • 本实用新型涉及二氧化硅生产设备技术领域,且公开了一种表面疏水的沉淀二氧化硅生产设备,包括反应箱体,所述反应箱体顶端的中部开设有密封卡槽,所述密封卡槽内腔的底部卡接有密封圈,所述密封圈活动套接在透明导入管的外部。该表面疏水的沉淀二氧化硅生产设备,通过使连接内管与连接外管螺纹连接,使透明导入管与连接外管相连接,在使透明导入管和连接内管之间具备可拆卸功能的同时,可根据所选择的处理剂需要更换不同长度的透明导入管,从而改变透明导入管的容量,通过透明导入管容量的变化对处理剂的导入量进行调节,确保了装置对不同处理剂添加量不同的要求,同时充分的混合设计使得白炭黑表面疏水率更加均匀。
  • 赤泥化学物理综合处理方法-201910350765.0
  • 于拴全 - 于拴全
  • 2019-04-28 - 2019-08-23 - C01B33/18
  • 赤泥化学物理综合处理方法,属于赤泥的应用技术领域,目的在于提供一种不产生三废的赤泥的综合利用的方法,本发明采用浓度为95%的浓硫酸,加卤化物为活化剂,加入反应釜中加热,将赤泥连续加入搅拌,(1)除掉原有的强碱,(2)使SiO2(文石和方解石)生成气体,得气相白炭黑,(3)再经过滤形成固液分离,形成3种产物,固体铁、钙、废渣逸出,液体铝、钛、镁、钙、钠等元素保留,使固体、液体中有价值的物质逐步分离,并制取相应的产品贡献社会。
  • 一种氟硅酸含氟硅渣提纯工艺-201910380562.6
  • 舒爱桦;谢义蓉;罗建洪 - 舒爱桦;谢义蓉
  • 2019-05-08 - 2019-08-23 - C01B33/18
  • 本发明属于新材料制备领域,公开了一种氟硅酸含氟硅渣提纯工艺。将含氟硅渣投入煅烧窑加热至800~1700℃,保温1小时~10小时,再冷却、粉碎,制得粒度不大于9um的低氟、低水白炭黑。采用该氟硅酸含氟硅渣提纯工艺生产的白炭黑中大二氧化硅的氟含量大幅降低,提高了产品的纯度、活度和白度,降低细度;而且该氟硅酸含氟硅渣提纯工艺将废弃物资源化,生产成本低,减少了固体废弃物排放,延长了硅矿藏资源的寿命,保护了环境,适宜大范围推广。
  • 废液循环利用的单分散二氧化硅微球的制备方法-201910509062.8
  • 钟声亮;李盛凯;宁海金;王雷;徐先进;刘汉锋;江宇航;曹文;王海洋 - 江西师范大学
  • 2019-06-13 - 2019-08-23 - C01B33/18
  • 本发明公开了一种废液循环利用的单分散二氧化硅微球的制备方法。该方法首先将阳离子表面活性剂溶解到去离子水和乙醇溶液中,而后加入硅源,最后用胺溶液调节pH,待出现白色浑浊后静置陈化、抽滤、干燥得到单分散二氧化硅微球。利用抽滤后得到的废液重新补充阳离子表面活性剂、硅源、胺溶液,而后通过静置陈化、抽滤,干燥得到单分散二氧化硅微球。废液可以重复使用。本发明使用废液循环的方法制备单分散二氧化硅微球,绿色环保、工艺简单、产量高;得到的单分散二氧化硅微球大小均匀、分散性好、经济效益好,易于工业化生产。
  • 二氧化硅粉体的制备方法及二氧化硅粉体-201510256394.1
  • 张香兰;景允伸 - 中国矿业大学(北京)
  • 2015-05-19 - 2019-08-23 - C01B33/18
  • 本发明涉及一种二氧化硅粉体的制备方法,包括以下步骤:提供含氟离子溶液和硅的卤化物;将硅的卤化物加入到上述的含氟离子溶液中,产生二氧化硅沉淀并得到含有二氧化硅沉淀的悬浮液;过滤上述的含有二氧化硅沉淀的悬浮液并洗涤所得的二氧化硅沉淀,得到二氧化硅滤饼;干燥上述的二氧化硅滤饼,得到二氧化硅粉体。另外,本发明还提供了使用上述的方法制备的二氧化硅粉体。
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