[实用新型]一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室有效
| 申请号： | 201220442903.1 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN202766614U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 李灿民;陶满;陶圣全 | 申请（专利权）人： | 合肥永信等离子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生;王伟 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 减少 金刚石 镀膜 过程 打火 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室，其特征在于，真空室内悬挂有一个由上下两层结构组成的金属支架，所述金属支架的上下两层之间通过绝缘子连接；所述金属支架的下层平行设置有多根悬杆；所述真空室内还设有带电子逃逸口的金属网罩，所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其悬挂在金属支架的下层悬杆上；所述金属支架的下层与真空室外高压脉冲电源电连接。
2.根据权利要求1所述的一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室，其特征在于，所述电子逃逸口的大小为10cm2~30cm2。
3.根据权利1所述的一种减少类金刚石镀膜过程中打火的真空室，其特征在于，所述绝缘子两端为螺杆结构，两端通过螺母与金属支架的上层和下层固定连接；所述绝缘子材质为陶瓷或玻璃纤维。
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