[发明专利]加速度开关

说明书

技术领域

本发明涉及加速度开关。

背景技术

如日本意匠登录1310053所示的在质量体内部具有对置电极的、无方向性的加速度开关，能够作为常断（normally off）且无方向性的开关来使用，另外还具有因为可使用半导体制造技术以单晶硅为基体来制作故还能够缩小形状等各种各样的优点。

如果此加速度开关用于省电用、例如仅具有小容量的电池这样的便携式设备，则能够在未探测到人的振动时即未使用时断开系统，而在探测到振动时即使用时自动接通系统，以便不会无益地使用电池。

在这样感知基于加速度的振动以进行系统的接通、断开的情况下，希望在无论怎样的振动方向上均可感知，所以无方向性就变得有利。因此，如日本意匠登录1310053所示，希望用多个梁来支撑重锤（质量体）以使得重锤的振动不会因加速度而偏移。

这样的开关被搭载于便携式设备，另外为了此便携式设备进一步小型化，这样的开关的尺寸更小就有利。进而，作为其制造方法一般是采用半导体加工来制造，所以尺寸更小从成本方面看也有利。

【现有技术文献】

专利文献1：日本意匠登录第1310053号公报。

但是，在感知振动或加速度以进行系统接通、断开的情况下，振动或加速度的强度因不同应用而各种各样。例如，在如计步器这样的设备中最多在设备上仅发生2G以下的加速度，所以作为使其启动的加速度开关就需要对1.5G左右的加速度进行反应的开关。另外，在个人计算机用的鼠标中，因需要对手的较弱活动进行反应故需要对0.5G左右进行反应的开关。

针对这样的各式各样加速度的要求，加速度传感器进行了应对。从而，为了始终检测加速度也就要求始终驱动加速度传感器。但是，加速度传感器的消耗电流大，从而在电池驱动的便携式设备中存在其寿命会变得非常短这一缺点。

发明内容

因此，本发明的目的就是提供具有单一的加速度阈值、低消耗电流且偏差小的加速度开关。

本发明的加速度开关，具有在内侧具有空间的质量体和被配置成支撑上述质量体且包围质量体的圆弧状的梁，并在质量体的空间具有对置电极，其中，通过改变质量体的体积来进行加速度灵敏度的调整。据此，能够例如以0.2G步长（step）准备多个具有单一的加速度灵敏度的阈值的加速度开关，对用户提供多种类灵敏度的加速度开关。

改变质量体的体积的方法具体而言就是改变质量体的XY面内的表面积。另外，其他的具体方法还有通过蚀刻来削除质量体的一部分。

另外，通过改变圆弧状的梁的尺寸或者质量体与对置电极的间隔，能够例如从0.1G到2G以0.2G步长准备多个具有单一的加速度灵敏度的阈值的加速度开关，对用户提供多种类灵敏度的加速度开关。

根据本发明，能够提供具有单一的加速度灵敏度的阈值、低消耗电流且偏差小的加速度开关。

附图说明

图1是本发明实施例中加速度开关200的截面图；

图2是说明本发明的加速度开关200的俯视图；

图3是为了说明该加速度开关200的构成而沿图2的A-A’面切断的截面图；

图4是说明该加速度开关200的动作的图；

图5是参考文献的实施方式图。

【附图标记说明】

100  加速度开关；101  加速度开关100的周边部；102  加速度开关100的梁部分；103  加速度开关100的梁部分；104  加速度开关100的梁部分；105  加速度开关100的梁部分；106  加速度开关100的重锤部分（质量体）；107  加速度开关100的对置电极；200  加速度开关；201  加速度开关200的周边部；202  加速度开关200的梁部分；203  加速度开关200的重锤部分（质量体）；204  加速度开关200的对置电极；205  加速度开关200的第一基板；206  加速度开关200的第三基板；207  加速度开关200的贯通电极；208  加速度开关200的贯通电极；209  SOI晶片的有源层。

具体实施方式

以下参照附图，就用于实施本发明的一个方式进行说明。

首先，就日本意匠文献中的加速度开关的构成和动作进行说明。