[发明专利]一种利用水圈进行硅片抛光方法无效
| 申请号： | 201210122506.0 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN102632452A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张世波;徐国科;胡孟君;卢峰;刘建刚;张海英;周明飞;林晓华 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 水圈 进行 硅片 抛光 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制作压制水圈；
(2)利用双面胶将制得的压制水圈贴到抛光头上；
(3)放置硅片，对硅片进行抛光。
2.根据权利要求1所述的利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，所述步骤(1)还包括以下子步骤：
(11)将透明的PVC软帘对折放置，置于代加工作业台上进行塑封成圆环形；
(12)PVC软帘塑封呈圆环形后，向圆环中注入纯水；
(13)注水完毕后，待封口干燥后将封口塑封。
3.根据权利要求2所述的利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，所述步骤(11)中塑封成形的温度控制在150-300℃。
4.根据权利要求2所述的利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，所述步骤(12)中向圆环中注入200-500ml的纯水。
5.根据权利要求2所述的利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，所述步骤(13)中封口塑封的温度控制在30-100℃。
6.根据权利要求2所述的利用水圈进行硅片抛光方法，其特征在于，所述PVC软帘的厚度在0.1-0.5mm。
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