[实用新型]丙酮喷射控制装置有效

专利信息
申请号: 201120114217.7 申请日: 2011-04-18
公开(公告)号: CN202023772U 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 郑昌荣 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: F04F5/48 分类号: F04F5/48
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214028 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 丙酮 喷射 控制 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种喷射控制装置,尤其是一种丙酮喷射控制装置,属于半导体加工的技术领域。

背景技术

目前,丙酮喷射装置结构单一,存在喷射不稳定,经常出现喷射过多或过少现象,从而造成设备清洁不干净时出现树脂的现象;而且设备停机一端时间有由于丙酮液体的回流,也会出现喷射不稳定的现象;当出线喷射不稳定的情况时,会导致相应产品的质量难以控制,影响后续的加工操作。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种丙酮喷射控制装置,其结构简单紧凑,安装使用方便,喷射效率高,喷射稳定,使用寿命长,适应性好,安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案,所述丙酮喷射控制装置,包括喷射泵;所述喷射泵的进液口与导管相连,所述导管对应于与喷射泵进液口相连的另一端伸入储液罐内,喷射泵的出液口与喷射管相连,所述喷射管上设有若干喷射嘴;喷射泵与控制喷射泵工作状态的脉冲控制器电连接。

所述脉冲控制器输出24V脉冲电压。所述储液罐内设有丙酮液。

所述喷射泵的进液口与导管间设有单向阀,所述单向阀通过第一连接管与喷射泵的进液口相连。

所述喷射泵的出液口通过第二连接管与喷射管相连。

本实用新型的优点:喷射泵的进液口通过第一连接管、单向阀及导管与储液罐内的丙酮液相连,喷射泵的出液口通过第二连接管与喷射管相连;喷射泵与脉冲控制器相连,脉冲控制器输出24V的脉冲电压,脉冲控制器能够控制喷射泵的工作状态,从而能够精确控制喷射嘴喷射出丙酮液的喷射量;单向阀能够避免喷射泵停止工作时抽出的丙酮液再次回流到储液罐内,影响下一次的喷射量的情况;喷射精度高,稳定性好,提高了加工产品的稳定性,结构简单紧凑,安装使用方便,喷射效率高,使用寿命长,适应性好,安全可靠。

附图说明

    图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示:本实用新型包括丙酮液1、导管2、单向阀3、喷射泵4、喷射嘴5、脉冲控制器6、储液罐7、第一连接管8、第二连接管9及喷射管10。

如图1所示:所述喷射泵4的进液口与导管2相连,导管2的一端伸入储液罐7内,能够将储液罐7内的丙酮液1导入喷射泵4的进液口。喷射泵4的出液口与喷射管10相连,喷射管10上设有若干喷射嘴5,所述喷射嘴5与喷射管10相连通,能够将喷射管10内的丙酮液1向外喷出。为了能够使丙酮液1的喷射稳定,喷射泵4与脉冲控制器6电连接,脉冲控制器6输出24V脉冲电压;脉冲控制器6能够控制喷射泵4的工作状态,即能够控制喷射泵4处于工作状态还是停止状态。

为了防止停机后出现丙酮液1回流的现象,喷射泵4的进液口设有单向阀3,所述单向阀3与导管2相连,并通过第一连接管8与喷射泵4的进液口相连;当设备停机后,单向阀3的单向导通作用,能够避免丙酮液1回流到储液罐7内。喷射泵4的出液口通过第二连接管9与喷射管10相连。

如图1所示:导管2的一端伸入储液罐7内,向储液罐7内加入相应的丙酮液1。工作时,通过脉冲控制器6控制喷射泵4的工作状态,当喷射泵4工作时,丙酮液1通过导管2、单向阀3及第一连接管8进入喷射泵4的进液口;并通过第二连接管9输入到喷射管10内。喷射管10内的高压丙酮液1通过喷射嘴5向外喷出,从而能够对刷胶的网板进行清洁。当脉冲控制器6使喷射泵4停止工作时,喷射嘴5停止向外喷射丙酮液1,同时由于单向阀3的作用,避免丙酮液1回流到储液罐7内,不会由于回流影响下一次喷射量的增加或减少;提高喷射清洁的效果。

本实用新型喷射泵4的进液口通过第一连接管8、单向阀3及导管2与储液罐7内的丙酮液1相连,喷射泵4的出液口通过第二连接管9与喷射管10相连;喷射泵4与脉冲控制器6相连,脉冲控制器6输出24V的脉冲电压,脉冲控制器6能够控制喷射泵4的工作状态,从而能够精确控制喷射嘴5喷射出丙酮液1的喷射量;单向阀3能够避免喷射泵4停止工作时抽出的丙酮液1再次回流到储液罐7内,影响下一次的喷射量的情况;喷射精度高,稳定性好,提高了加工产品的稳定性,结构简单紧凑,安装使用方便,喷射效率高,使用寿命长,适应性好,安全可靠。

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