[发明专利]刷子监控方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及监控技术领域，特别是涉及一种刷子监控方法及装置。

背景技术

在硅片生产过程中，由于工艺或微环境的影响，硅片表面往往带有沾污物。由于硅片上关键尺寸持续缩小，因此很小的沾污物也会影响硅片中较大比例的面积。在实际生产中，硅片表面在经受工艺之前必须是洁净的。现在，大部分厂商多采用ontrak机器对硅片进行清洗处理。该机器带有圆柱形状的刷子，通过转动刷子达到对硅片进行清洗的目的。

如图1所示，ontrak中，使用两个滚轮3带动硅片1转动，同时使用电机带动刷子2(硅片1的两侧各有一个刷子2)转动，从而达到对整个硅片进行清洗的目的。为了监控该机器对硅片的清洗情况，往往需要监控刷子的转动情况。然而现有技术中，对刷子转动情况的监控都是通过监控带动刷子转动的电机是否正常运行而实现的。

由于电机与刷子之间连接有多个转接器，如果中间某个转接器出现故障，则会使刷子停止转动，而此时电机仍然在运转，这样就不会发出报警或信息提示。因此，依靠检测电机是否正常运行来判断刷子的转动情况在此种情况下将出现严重错误，最终会导致硅片的清洗不干净，影响后续半导体器件的制作。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种刷子监控方法及装置，以实时、准确地检测刷子的转动情况，技术方案如下：

一种刷子监控装置，该装置包括：

标志物，固定设置在刷子上；

光电传感器，用于感应所述标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号到定时控制器；

定时控制器，用于在预设时间段内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。

优选的，上述装置还包括：

报警模块，用于根据所述报警信号进行报警。

优选的，上述装置中，所述标志物固定设置在刷子的转轴上。

优选的，上述装置中，所述光电传感器的探头感应方向与所述转轴垂直。

优选的，上述装置中，所述标志物为遮挡片。

本发明还提供了一种刷子监控方法，该方法包括：

使用光电传感器感应预先设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号到定时控制器；

在预设时间段内所述定时控制器未接收到所述数字信号时，所述定时控制器输出报警信号。

优选的，上述方法还包括：根据所述报警信号进行报警。

优选的，上述方法中，所述标志物固定设置在刷子的转轴上。

优选的，上述方法中，所述光电传感器的探头感应方向与所述转轴垂直。

优选的，上述方法中，所述标志物为遮挡片。

通过应用以上技术方案，本发明可以通过光电传感器感应设置在刷子上的标志物经过光电传感器探头并输出相应的数字信号。当定时控制器在预设时间段内未接收到所述数字信号时，输出报警信号。由于对刷子进行直接监控，因此能够实时、准确的检测刷子的转动情况。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的ontrak机器中主要清洗结构的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种刷子监控装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种刷子监控装置中标志物与ontrak中刷子的俯视图；

图4为本发明实施例提供的一种刷子监控方法的流程图；

图5为本发明实施例提供的另一种刷子监控方法的流程图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

如图2所示，本发明实施例提供了一种刷子监控装置，包括：

标志物5，固定设置在刷子2上。

图2所示的标志物5固定设置在刷子2的转轴上，在本发明其他实施例中，标志物5还可以固定设置在刷子2的侧面。

光电传感器4，用于感应标志物5经过光电传感器4探头并输出相应的数字信号到定时控制器6。