[发明专利]用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统

说明书

技术领域

本发明涉及计算机应用和集成电路装备技术领域，特别涉及一种用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统。

背景技术

随着微电子技术、信息技术、网络技术等的飞速发展，全球信息产业迅猛成长、网络经济快速兴起、知识经济初见端倪，现代国防和未来战争中的尖端技术不断崛起，人类进入了信息和网络时代。由于微电子技术的核心地位，微电子比以往任何时候都更显示出其重要的战略地位，微电子产业已经成为全球经济的重要支柱和经济、社会发展的强大推动力。

驱动控制系统作为IC(Integrated Circuit，集成电路)产业的一部分，具有举足轻重的作用。但是现有的集成电路的驱动控制系统通用性差，不能够满足集成电路制造装备工艺模块控制器(PMC)和传输模块控制器(TMC)与常见的外部硬件设备的通信，也从而导致对集成电路制造设备的各种硬件设备的操作和处理效率低。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别提出一种高效、通用的用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统。

为达到上述目的，本发明第一方面的实施例提出一种用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统，所述标准化底层控制驱动系统用于接收来自客户端的设备操作请求，并根据所述设备操作请求控制硬件设备，所述标准化底层控制驱动系统包括：中央控制模块，所述中央控制模块对所述驱动系统进行初始化并创建所述驱动系统的TCP/IP套接字以与客户端进行通信；EPICS协议通信模块，所述EPICS协议通信模块通过所述TCP/IP套接字建立与所述客户端的通信连接，并采用EPICS协议与所述客户端进行通信，接收来自所述客户端的设备操作请求及与所述客户端交换通道数据；配置模块，所述配置模块用于生成变化参数配置文件以配置所述驱动系统中的变化参数；数据模块，所述数据模块用于存储所述来自所述EPICS协议通信模块的通道数据；和设备驱动模块，所述设备驱动模块处理所述设备操作请求，并根据所述数据模块存储的通道数据以及所述配置模块配置后的变化参数控制硬件设备。

在本发明的一个实施例中，所述变化参数配置文件以XML文件格式保存。

在本发明的一个实施例中，所述变化参数配置文件中的变化参数包括：

所述EPICS协议通信模块和客户端之间的各个通道的配置参数、所述驱动系统向所述客户端定时反馈通道制的时间间隔、所述驱动系统定时测试所述硬件设备的测试时间间隔、所述驱动系统端的IP地址、所述驱动系统端监听网络连接的端口、所述驱动系统中存在的线程的最大数量和所述驱动系统中并行执行的线程数量。

在本发明的一个实施例中，所述配置模块进一步生成用于解析所述变化参数配置文件的关键类。

在本发明的一个实施例中，所述EPICS协议通信模块在由所述中央处理模块初始化后，监听来自所述客户端的连接请求，在接收到来自所述客户端的连接请求后，建立与所述客户端的通信连接。

在本发明的一个实施例中，所述EPICS协议通信模块包括：连接状态机，所述连接状态机用于维持所述EPICS协议通信模块与所述客户端之间的连接的状态；读数据状态机，所述读数据状态机用于读取并处理通信中传输的通道数据；轮循状态机，所述轮循状态机用于接收并处理轮循过程中传输的通道数据；和监测状态机，所述监测状态机用于定时向所述客户端发送数据包以检测所述EPICS协议通信模块和所述客户端之间的连接状态，其中，所述连接状态机、读数据状态机、轮循状态机和监测状态机均以单独的线程运行。

在本发明的一个实施例中，当所述监测状态机发送的数据包触发到一个异常时，则检测到所述EPICS协议通信模块和所述客户端之间通信连接断开。

在本发明的一个实施例中，所述数据模块存储的通道数据包括：通道类型，所述通道类型包括连续型、离散型、字符串型；通道读写类型，所述通道读写类型包括只读型、只写型、读写型；通道类型的父类，所述通道类型的父类用于封装所述的通道的操作；节点类，所述节点类为逻辑上或物理上相关的EPICS通道的集合；通道工厂类，所述通道工厂类用于管理和创建节点和通道。

在本发明的一个实施例中，通道包括：连续型只读通道、连续型只写通道、连续型读写通道、离散型只读通道、离散型只写通道、离散型读写通道、字符串型只读通道、字符串型只写通道和字符串型读写通道。

在本发明的一个实施例中，所述每个通道分别对应一个硬件设备。

在本发明的一个实施例中，所述驱动系统包括至少一个节点，其中所述驱动系统任意指定作为所述节点的EPICS通道集合。