[发明专利]一种晶圆输送分配装置及其方法

权利要求书

1.一种晶圆输送分配装置，其特征在于，包含：

多个纵向输送轨道，与横向输送轨道交错设置，而该纵向输送轨道上包含有一开口和一组设置在纵向输送轨道两侧的输送带；

两个横向输送轨道，与纵向输送轨道交错设置，其中该横向输送轨道中包含有多个轨道交错结构和一组设置在横向输送轨道两侧的输送带，而该横向输送轨道与纵向输送轨道交错重迭，使晶圆输送调整方向，以方便承接设备。

2.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，在该横向输送轨道上的轨道交错区域间设置多个轨道交错结构，而该轨道交错结构的数量由纵向输送轨道的数量而定。

3.如权利要求2所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该轨道交错结构设置在横向输送轨道的两组输送带中央，而该轨道交错结构的左右两端为一凹口，并在中央凸口顶端设置一感测器。

4.如权利要求3所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该感测器为一用于测定物体的出现、离开和运动的感测器，并触发纵向输送轨道自动调整高度。

5.如权利要求3所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该开口大小大于轨道交错结构的中央凸口，用于该多个纵向输送轨道与两个横向输送轨道交错重迭。

6.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该纵向输送轨道和横向输送轨道的输送晶圆方向前端处，会各自设置一缓冲容置件，用于暂时容置晶圆之用。

7.如权利要求1所述的晶圆输送分配装置，其特征在于，该横向输送轨道两侧跨设一导正装置，而该导正装置包含两组平行配置的夹具，用于接触并夹制导正晶圆。

8.一种晶圆输送分配方法，其特征在于，包括：

输入晶圆经过纵向输送轨道输送；

当纵向输送轨道自动下降与横向输送轨道交错重迭时，同时横向输送轨道将晶圆送往不同的方向；

当横向输送轨道开始输送晶圆时，该纵向输送轨道自动上升，与横向输送轨道脱离连结，并继续输送晶圆。

9.如权利要求8所述的晶圆输送分配方法，其特征在于，该晶圆到达纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道停止向前输送晶圆，并会自动下降与横向输送轨道交错重迭。

10.如权利要求8所述的晶圆输送分配方法，其特征在于，该晶圆离开纵向输送轨道与横向输送轨道交错区域时，该纵向输送轨道会自动上升，与横向输送轨道脱离连结，同时纵向输送轨道启动，继续向前输送晶圆。