[发明专利]测量镜面反射表面的相对位置的方法和装置

权利要求书

1.一种用于测量对象的镜面反射面沿测量线的相对位置的方法，包括：

(a)将至少一个会聚光束会聚于所述测量线上的标称位置处，并形成来自所述镜面反射面的反射束；

(b)在检测器平面处记录所述反射束图像；

(c)确定所述反射束的所述图像在所述检测器平面中的位置；以及

(d)将所述反射束的所述图像的位置转换成所述镜面反射面沿所述测量线离所述标称位置的位移。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，多个会聚光束在步骤(a)中在所述标称位置处会聚。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括：

(e)基于步骤(d)中获得的所述位移将所述镜面反射面或所述标称位置移动一定量；以及

(f)重复步骤(a)-(d)。

4.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括：

(e)基于步骤(d)中获得的所述位移将所述镜面反射面或所述标称位置移动一定量；

(f)确定所述位移测量中的绝对误差；以及

(g)重复步骤(a)-(f)直到所述绝对误差处于或小于预定值。

5.如以上权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，所述对象具有多个镜面反射面，反射束在步骤(a)中从所述多个镜面反射面中的每一个形成，且所述反射束的图像在步骤(b)中在所述检测器平面处被记录。

6.如以上权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，步骤(d)包括利用沿所述测量线的多个已知表面位置和所述检测器平面上相应的多个图像位置来校准所述镜面反射面沿所述测量线的位移与所述反射束的图像在所述检测器平面中的位置之间的转换函数。

7.一种用于测量对象的镜面反射面沿测量线的相对位置的装置，包括：

光源，所述光源产生会聚于所述测量线上的标称位置处的至少一个光束，并形成来自所述镜面反射面的反射光束；

光检测器，所述光检测器在检测器平面处记录所述反射光束的图像；以及

数据分析仪，所述数据分析仪从所述光检测器接收记录、处理并分析所述记录以确定所述反射光束的图像在所述检测器平面中的位置、以及将所述位置转换成所述镜面反射面沿所述测量线离所述标称位置的位移。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括成像透镜，其中所述成像透镜和所述检测器平面定位和取向成使所述成像透镜将所述测量线聚焦在所述检测器平面上。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述成像透镜是物镜或移轴镜。

10.如权利要求7到9中的任一项所述的装置，其特征在于，所述数据分析仪利用沿所述测量线的多个已知表面位置和所述检测器平面上相应的多个图像位置来校准所述镜面反射面沿所述测量线的所述位移与所述反射束的图像在所述检测器平面中的所述位置之间的转换函数，以将所述位置转换成所述位移。