[发明专利]用于输送气体的集束挂车

说明书

技术领域

本发明涉及典型地被附接在一辆卡车上的一种挂车，用于存储或运输流体容器，更具体的是涉及用于压缩气体的容器的一种挂车。

背景技术

吸湿性、腐蚀性化学品经常被用在精密的半导体、扁平显示板、光电以及汽车的制造工艺中。典型的这种化学品是氟，氟是一种在潮湿空气中发生强反应的气体。大体积的氟或其混合物是作为在特殊容器中(例如，在管式挂车或气瓶中)的一种压缩气体来运送。因为氟是所有元素中最为负电性的和最具反应性的，所以它是高度反应性的，特别是腐蚀性并且与实际上所有的有机以及无机物质进行反应。

韩国专利公开的公开号10-2002-14870披露了用于包括元素氟的高纯度化学品的转移和输送的一种装置和方法，以及用于为半导体的制造提供气体的一个系统，该系统包括一个管式挂车，其中组合了多个气罐。

美国专利号5,539,998披露了一种装置，该装置用于将一种吸湿的、腐蚀性的化学品从高压供应源转移并且输送到一个低压使用点。该装置包括：(a)用于连接到化学品的供应源并且连接到使用点上的一个输送管道；(b)连接在该输送管道中的一个脱水器，该脱水器用于从通过该管道的化学品中除去水分；(c)连接在该输送管道中的至少一个压力调节器，以降低从高压供应源到低压使用点的压力；(d)用来对通过至少一个压力调节器的化学品进行加热的至少一个装置；以及(e)一个真空装置，用于在将该输送管道连接到供应源和/或使用点的操作中将该输送管道排空。

在腐蚀性的化学品输送行业中已经尝试了使用管式挂车来提供的高纯度化学品气体，该管式挂车包括几个管，每个管具有50至100kg的容量。尽管使用了这种管式挂车，该行业一直经历着不稳定的安全控制、高维护成本、以及与具有不同使用点的系统的低兼容性的问题。

本发明使用一种独特的集束整合而克服x了现有技术的这些缺点。此外，本发明能够以良好的灵活性、高安全性以及低成本输送高纯度的吸湿性、腐蚀性化学品，如元素氟以及N₂、Ar、He与元素氟的混合物。

本披露的一个目的是提供一种集束挂车，其中多个容器被支撑在多个束中，这些束可以从该挂车上单独地移去并且这将有助于任何容器的移去。

本发明的另一个目的是提供多个束，这些束可以容易地被附装在该挂车框架上并且本身能够承受由这些容器强加的惯性载荷。

为了这些以及其他目的，对本领域技术人员会清楚的是，本披露在于如在说明书中详尽地解释并且特别在权利要求中指出的部件的组合。

附图简要说明

图1是本披露的化学品转移和输送装置的一个实施方案的示意图。

图2是体现了本披露的原理的带有多个容器的一个集束挂车的主视图。

图3至图5是带有多个容器的集束挂车的前视图和平面正视图。

发明内容

本发明涉及一种集束挂车，该集束挂车具有多个支撑圆柱形容器的束，这些束具有一个集束框架，在该集束框架上安装了含有一种化学品的多个容器。每个束具有至少一个气动束阀门，该气动束阀门用于控制这些容器中的化学制品的输送。在其末端处，本披露的集束挂车进一步包括用于控制该化学品的主流的至少一个挂车阀门以及用于固定这些束的至少一个夹具。在一些实施方案中，该集束挂车的上述这些阀门可以被构造为是遥控打开的，以确保对工人来说比手动打开的构造更高的安全性。

在本领域中已知的挂车具有一个扁平的水平框架，其上支撑了底层的多个容器。连续的多个层被堆积起来，使得下面的容器支撑上面的容器以形成一个紧凑的集束(bundle)。通常以分开的间隔沿着容器长度设置多个支架，并且使用定位器以将该束固定到该框架上。在该挂车的一末端处，这些容器末端一般装有歧管并且提供了管路用于为这些容器提供气体并且从这些容器抽取压缩气体。

在一个实施方案中，该集束挂车进一步包括一个翼板体，该集束挂车被装载在该翼板体上。在一些实施方案中，该翼板体包括一个电池，该电池用于该集束挂车必要的电子装置的操作，其中这些电子装置是选自：一个自动门、一个报警灯、一个化学品探测器、或它们的一种组合。确切地说，如美国专利号5,539,998表明，可以为该集束挂车提供多个适当的传感器(如，热电偶以及压力传感器)，这样对该集束挂车的环境温度、来自该管式挂车或供应源的化学品的温度、以及在选定的时间间隔上的压力的相对变化进行感测并且传输到一个适当的控制器。当这些感测的值超过规定的预设值时，该控制器从附装在该翼板体中的一个适当的装置提供一个适当的报警信号。

这些束被定位在该支撑框架上，这样它们在气体供应、输送以及卸载操作过程中是安全并且稳定的。