[发明专利]用于封装显示装置的方法及由此获得的装置

说明书

技术领域

本发明的领域涉及微机电系统(MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、致动器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的若干部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收和/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号后即刻进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细地描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。此些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型的装置的特性以使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创造尚未开发的新产品将是有益的。

发明内容

本发明的系统、方法和装置各自具有若干方面，其中无单个方面单独地负责其所要属性。在不限制本发明的范围的情况下，现在将简要地论述本发明的较显著特征。在考虑此论述之后，且尤其在阅读标题为“具体实施方式”的部分之后，将理解本发明的特征如何提供优于其它显示装置的优点。

在一个方面中，揭示一种封装显示装置的方法。所述方法包括：提供衬底；在所述衬底的背侧上制造显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个柱；提供背板；以及将所述背板密封到所述衬底的所述背侧，其中在将所述背板密封到所述衬底的所述背侧之后，一个或一个以上柱与所述背板接触。

在另一方面中，揭示一种封装显示装置的方法。所述方法包括：提供衬底；在所述衬底的背侧上制造显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的合适的焊盘焊接区域以及位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个柱；提供背板，其包括多个支柱；以及通过使所述支柱与所述焊盘焊接区域对准来将所述背板密封到所述衬底的所述背侧。

在另一方面中，揭示一种封装显示装置的方法。所述方法包括：提供衬底；在所述衬底的背侧上制造显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的多个支柱以及位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个连接柱；提供背板；以及将所述背板密封到所述衬底的所述背侧。

在另一方面中，揭示一种显示装置。所述装置包括：前面板，其包括位于衬底的背侧上的显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个柱，其中一个或一个以上柱与所述背板接触；以及背板，其密封到所述衬底的所述背侧。

在另一方面中，揭示一种显示装置。所述装置包括：前面板，其包括位于衬底的背侧上的显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的合适的焊盘焊接区域以及位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个柱；以及背板，其密封到所述衬底的所述背侧，所述背板包括多个支柱。

在另一方面中，揭示一种显示装置。所述装置包括：前面板，其包括位于衬底的背侧上的显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的多个支柱以及位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个连接柱；以及背板，其密封到所述衬底的所述背侧。

在另一方面中，揭示一种显示装置。所述装置包括：用于调制透射穿过所述支撑装置的光的装置；用于支撑所述调制装置的装置；用于封闭所述调制装置的装置；以及用于在所述封闭装置接合到所述支撑装置以形成封装时对所述封闭装置提供支撑的装置。

附图说明

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于致动位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的图。

图4是可用于驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A说明图2的3×3干涉式调制器显示器中的显示器数据的一个示范性帧。

图5B说明可用于写入图5A的帧的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和图6B是说明包括多个干涉式调制器的视觉显示装置的实施例的系统框图。

图7A是图1的装置的横截面。

图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。