[发明专利]经涂覆的切削刀具、切削部件或耐磨件

权利要求书

1.一种形成经涂覆的切削部件或经涂覆的耐磨件的方法，包括 以下步骤：

(a)获得由材料制成的基底，该材料选自包括高速钢合金、金属陶 瓷、烧结碳化物、TiC、TiN、碳钢、低合金的钢、奥氏体不锈钢、铁 素体不锈钢、马氏体不锈钢、工具钢、镍和钴超合金、氧化物陶瓷和 氮化物陶瓷中的一种或多种；

(b)将所述基底放入化学气相沉积反应室中，以及

(c)在720℃至1100℃的范围内，通过使气体与金属氯化物的混 合物反应而利用化学气相沉积来沉积(Ti_100-a-b-cCr_aV_bSi_c)C_xN_yO_z的合金涂 覆层，其中x+y+z＝1且a+b+c＞0，限制条件是x＞0，所述气体包 括甲烷以及氮或氢，且所述金属氯化物选自四氯化钛、氯化铬、氯化 钒和氯化硅中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(c)的气体还 包括CH₃CN。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氯化铬的分 压介于所述CVD反应室中的金属氯化物的总分压的0.1％和30％之 间。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氯化钒的分 压介于所述CVD反应室中的金属氯化物的总分压的0.1％和30％之 间。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氯化硅的分 压介于所述CVD反应室中的金属氯化物的总分压的0.1％和30％之 间。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法进一步 包括：在沉积所述合金涂覆层之前沉积TiN保护层。

7.一种通过权利要求1或2的方法以CVD涂覆的经涂覆的金属 基底，经涂覆的金属基底包括涂层，所述涂层包括合金化有选自铬、 钒和硅的至少一种合金元素的至少一个钛基硬质材料层，其中，总合 金元素含量介于总金属含量的0.1％和50％之间；所述至少一个钛基硬 质材料层具有通式(Ti_100-a-b-cCr_aV_bSi_c)C_xN_yO_z，其中x+y+z＝1且a+b+c＞0， 限制条件是x＞0。

8.根据权利要求7所述的经涂覆的金属基底，其特征在于，所 述至少一个钛基硬质材料层中的所述总金属含量的70％包括钛。

9.根据权利要求7所述的经涂覆的金属基底，其特征在于，所 述至少一个钛基硬质材料层中的所述总金属含量的0.1％与30％之间 选自包括铬、钒和硅中的一种或多种。

10.根据权利要求7所述的经涂覆的金属基底，其特征在于，所 述涂层进一步包括至少一个氧化铝层。