[发明专利]紧凑的反射折射分光计

权利要求书

1.一种适于在第一侧接收射束且适于与衍射元件(104)和检测器(106)一起使用的光学元件(102)，所述光学元件(102)在其第一侧上具有适于将所接收的射束折射地准直到衍射元件(104)上的折射面(108)并且所述光学元件(102)具有适于将经准直的由所述衍射元件(104)衍射的经衍射射束反射到检测器(106)上的反射面(110)，所述光学元件(102)适于使所述衍射元件(104)和所述检测器(106)被定位于所述光学元件(102)的与所述第一侧相反的同一侧，其特征在于，

所述折射面(108)和所述反射面(110)被定位于所述光学元件的同一侧并且是所述光学元件(102)的同一凸面的一部分。

2.如权利要求1所述的光学元件(102)，其特征在于，所述光学元件(102)是部分涂敷的透镜元件，所述涂敷是反射性的。

3.如权利要求1所述的光学元件(102)，其特征在于，所述光学元件(102)是平凸柱面元件。

4.如权利要求1所述的光学元件(102)，其特征在于，所述光学元件在表面上形成的衍射元件(104)或检测器(106)中的任何一个。

5.如权利要求1所述的光学元件(102)，其特征在于，所述光学元件(100)在第一方向上至少部分地平移不变。

6.一种用于表征材料的光学表征系统(100)，所述系统(100)包括衍射元件(104)、检测器(106)和如权利要求1到5中任一项所述的光学元件(102)。

7.如权利要求6所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述光学元件(102)在第一方向上至少部分地平移不变，所述光学表征系统(100)是多通道系统，其还包括针对每个通道的、用于将所述通道中的射束在所述第一方向上聚焦或准直的第二透镜。

8.如权利要求7所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述第二透镜是平凸透镜。

9.如权利要求7所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述第二透镜是凸凸透镜、柱面透镜中的任一种。

10.如权利要求9所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述第二透镜是平凸柱面透镜。

11.如权利要求6所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述衍射元件(104)和所述检测器(106)与所述光学元件(102)接触。

12.如权利要求6所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述光学表征系统(100)是适于并行地表征多个样本的多通道光学表征系统。

13.如权利要求12所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述光学表征系统(100)的所述衍射元件(104)是所述光学表征系统的不同通道共用的衍射元件(104)。

14.如权利要求6所述的光学表征系统(100)，其特征在于，所述光学表征系统(100)包括用于将样本定位于离所述光学元件一定距离的样本架，所述距离在所述折射面的曲率半径的一倍和四倍之间。

15.一种用于光学地表征材料的方法，所述方法包括：

-用射束照射材料从而产生照射响应

-其后，

-在所述光学元件(102)的第一侧接收来自样本的所述照射响应，

-在所述光学元件(102)的所述第一侧上将来自所述样本的所述照射响应折射为光学元件(102)处的经准直的照射响应，

-衍射经准直的照射响应从而产生经衍射的照射响应

-在所述光学元件(102)处反射所述经衍射的照射响应从而产生经反射的照射响应，以及

-在所述光学元件(102)的所述衍射所述照射响应的同一侧检测所述经反射的照射响应，所述同一侧与所述光学元件(102)的所述第一侧相反，

其特征在于

所述折射和反射是使用部分所述同一凸面在所述光学元件的同一侧进行的。