[发明专利]包含气体移出设备的液体分配系统有效
| 申请号： | 200780025430.7 | 申请日： | 2007-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN101484782A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·D·韦尔;格伦·M·汤姆;保罗·戴斯;埃米·科兰德;贾森·杰罗尔德;柯克·米克尔森;凯文·T·奥多尔蒂;迈克尔·A·西斯埃斯基 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | G01F11/00 | 分类号： | G01F11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包含 气体 移出 设备 液体 分配 系统 | ||
【说明书】：
技术领域
本发明涉及一种分配系统，例如用来有效供应流体材料以供使 用的分配系统。一方面，本发明涉及压力分配系统，其通过用如空 气或液体等加压介质来替换材料而使得液体或其它流体材料自来 源容器排放，其它方面涉及此类系统的制造、操作和配置方法。
背景技术
在许多工业应用中，化学试剂与组成成分需以高纯度的状态来 供应，因而发展出特殊的封装件来确保材料在整个装填、储存、运 送和最终分配的过程中，以适当纯度与形态来供应。
在微电子装置制造领域中，由于封装材料内的任何污染物和/ 或任何进入封装件中的环境污染物，将不利于以此液体和含液体的 组分制作的微电子装置产品，造成微电子装置产品不良、甚至报废， 迫切需要能适当封装各种液体和含液体的组分的封装技术。
鉴于此，已发展出多种高纯度封装件来封装用于制造微电子装 置的液体和含液体的组分，例如光致抗蚀剂、蚀刻剂、化学气相沉 积试剂、溶剂、晶片与工具清洗配方、化学机械研磨组分、彩色滤 光化学试剂、表面涂层、液晶材料等。
用于此类用途的其中一种高纯度封装件包括一硬式或半硬式 外包装件(overpack)，其以一弹性内衬或囊袋容纳液体和液底 (liquid-based)组分，内衬或囊袋利用如盖子等固定结构而固定于 外包装件内。此类封装件通常称为“罐装内袋包装(bag-in-can)”； (BIC)、“瓶装内袋包装(bag-in-bottle)”(BIB)和“桶装内袋包 装(bag-in-drum)”(BID)。此类封装件可购买ATMI公司(位于美 国康涅狄格(CT)州的丹伯里(Danbury)市)注册商标为NOWPAK 的商品。优选地，内衬包含弹性材料，外包装容器包含实质上比弹 性材料要硬的壁面材料。硬式或半硬式外包装件可由例如高密度聚 乙烯或其它高分子(polymer，或聚合物)或金属组成，内衬可为聚 膜材料制成的已预洗的无菌折叠袋，例如聚四氟乙烯(PTFE)、低 密度聚乙烯、PTFE基多层板、聚酰胺、聚酯、聚氨基甲酸酯或其 它不与内衬中所含液体或液底材料反应的材料等。包含任一上述材 料的多层板均可使用。构成内衬的示例性材料还包括金属化膜层、 金属箔、高分子/共聚物、层压板、挤出物(extrusion)、共挤物 (co-extrusion)和吹制与模铸膜层。此类封装件可购自ATMI公司 (美国康涅狄格(CT)州的丹伯里(Danbury)市)注册商标为 NOWPAK的商品。
在分配操作此类液体与液底组分的内衬型封装件时，分配来自 内衬中的液体的方法是将一分配构件连接至内衬的接口，该分配构 件包括一浸管(dip tube)或短探针，且浸管浸没在所含液体中。当 分配构件连接到内衬后，诸如气体等流体压力施加于内衬的外表面 上，使其逐渐折叠并迫使液体流经分配构件而排放至相关流动回路 以流向最后使用位置。
顶部空间(headspace)的气体(内衬顶端的额外气体)与微气 泡会在诸如平面显示器(FPD)和集成电路(IC)制造设施中进行 内衬式(liner-based)封装件内的液体分配时造成重大工艺问题。 顶部空间气体可能源自填充过程，其中封装件未填满液体。为了提 供能让体积膨胀时使用的顶部空间以适应封装件周遭环境的变化， 例如当封装件运送到封装件分配流体的位置，因温度改变导致液体 膨胀时，常需不完全填满封装件。
如此，顶部空间的气体可能夹带(entrain)在分配液体中，而 产生异质、多相的分配流体流(stream)，其有害于采用此分配液体 的工艺或产品。再者，分配液体中出现顶部空间气体会造成流体流 动传感器、流动控制器等装置故障或出错。
使用含液体组成的封装件引起的另一相关问题为，气体会渗透 或泄漏到所含液体中而溶解并形成气泡。以内衬式封装件为例，内 衬外的气体可能会通过内衬而渗入所含液体中。当采用内衬式封装 件来压力式分配操作时，如空气或氮气等加压气体本身可通过内衬 材料且溶解于内衬里的液体中。接着分配液体时，分配管线和下游 仪器与设备中的压降可能造成先前溶解于液体中的气体释出，以致 于在分配液体流中形成气泡，结果产生类似于夹带在液体流中的顶 部空间气体般的不良影响。故，期望在开始分配之前先移除顶部空 间的气体，并且在开始分配液体后继续移除释放出来的气体。还期 望能快速移除气体以减少微气泡形成。
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- 本实用新型公开了腰轮流量计，属于流量计领域，包括壳体，第一腰轮和第二腰轮，第一腰轮和第二腰轮匹配设置在壳体内，与第一腰轮同轴设置的有第一齿轮，与第二腰轮同轴设置的有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮啮合设置，壳体内同轴设有活动板，活动板嵌设在壳体内且二者滑动连接，壳体的与活动板之间设有多个支撑柱，支撑柱垂直于活动板设置，支撑柱的外圈同轴设有复位弹簧。本实用新型可避免杂质进入口卡死问题，稳定性更好。
- 一种气体腰轮流量计-201721607910.1
- 张军;张勇;徐术;陈海林;吴小川;刘晓阳;杨帆;沈大荣;王达军 - 重庆前卫克罗姆表业有限责任公司
- 2017-11-27 - 2018-07-31 - G01F11/00
- 本实用新型公布了一种气体腰轮流量计，包括腔体和设有腰轮的一对转子，腔体的两相对的开口端分别可拆卸地设置有前端盖和后端盖，腰轮位于腔体内，两转子的转轴其中一端均伸出前端盖并在两转轴的伸出端分别设有相互啮合的同步齿轮；前端盖和后端盖内分别嵌有轴承，每根转轴的两端分别穿过轴承后可转动地安装在相应端盖上，转轴在腰轮端面和该端的轴承端面之间的部分还套有若干对被挤压的碟形弹簧垫圈，碟形弹簧垫圈呈圆锥筒状，每一对碟形弹簧垫圈中的两个大端面相接，相邻两对碟形弹簧垫圈中的两个小端面相接，轴承背离碟形弹簧垫圈的一端设有拧在转轴上的紧固螺母。该气体腰轮流量计有效地解决了现有气体腰轮流量计容易卡死的技术问题。
- 一种气排水气体计量装置-201721345803.6
- 涂勇 - 涂勇
- 2017-10-18 - 2018-06-22 - G01F11/00
- 本实用新型公开了一种气排水气体计量装置，该气排水气体计量装置包括支撑架、驱动结构及第一集气管与第二集气管，所述驱动结构竖直安装在所述支撑架上，且所述驱动结构能够输出沿周向的往复运动，所述第一集气管与所述第二集气管沿竖向对称安装在所述驱动结构上，在所述驱动结构的驱动下沿反向做升降运动，所述第一集气管与所述第二集气管的底部连通，所述第一集气管与所述第二集气管内部设有液体，所述第一集气管连接于进气软管，所述第二集气管连接于出气软管。本实用新型能够消除在采用气排水进行计量时由于液面变化而导致的计量误差。
- 温压补偿内置式多方位气体腰轮流量计-201720807802.2
- 赵建新;卢小林;陆永明;张吉忠;董智;庞建华;昌庆飞 - 上海埃科燃气测控设备有限公司
- 2017-07-05 - 2018-06-05 - G01F11/00
- 本实用新型提供了温压补偿内置式多方位气体腰轮流量计，包括壳体、旋转定位板、计数器和积算仪。本实用新型气体腰轮流量计无论是垂直安装还是水平安装，均可达到计数器和智能显示器都可处于水平状态，从而达到读数舒畅抄表方便的理念和体现人性化的完美；计数器与智能计数分别采样，使两者比较更正确，计量更可靠。
- 气体腰轮流量计-201711208942.9
- 张军;张勇;徐术;陈海林;吴小川;刘晓阳;杨帆;沈大荣;王达军 - 重庆前卫克罗姆表业有限责任公司
- 2017-11-27 - 2018-03-23 - G01F11/00
- 本发明公布了一种气体腰轮流量计，包括腔体和设有腰轮的一对转子，腔体的两相对的开口端分别可拆卸地设置有前端盖和后端盖，腰轮位于腔体内，两转子的转轴其中一端均伸出前端盖并在两转轴的伸出端分别设有相互啮合的同步齿轮；前端盖和后端盖内分别嵌有轴承，每根转轴的两端分别穿过轴承后可转动地安装在相应端盖上，转轴在腰轮端面和该端的轴承端面之间的部分还套有若干对被挤压的碟形弹簧垫圈，碟形弹簧垫圈呈圆锥筒状，每一对碟形弹簧垫圈中的两个大端面相接，相邻两对碟形弹簧垫圈中的两个小端面相接，轴承背离碟形弹簧垫圈的一端设有拧在转轴上的紧固螺母。该气体腰轮流量计有效地解决了现有气体腰轮流量计容易卡死的技术问题。
- 一种新型气体腰轮流量计跑表台-201721040964.4
- 徐春 - 信东仪器仪表（苏州）有限公司
- 2017-08-19 - 2018-03-09 - G01F11/00
- 本实用新型涉及一种新型气体腰轮流量计跑表台，主要解决气体腰轮流量计在组装完成后直接进行标定导致精度等级方面达不到标准的问题。本实用新型通过采用一种新型气体腰轮流量计跑表台，包括跑表台、负压风机和变频器，所述跑表台设有工作台面，所述工作台面上均匀设置有多个工作台位，且工作台面的上端面铺设有橡胶台面，工作台面的下方设有管道和软管道，管道由主管道与多个支管道焊接而成，且主管道上设有一出气口，各支管道的端口与对应的工作台位的底端端口焊接，软管道的一端口与出气口固定连接，另一端口与负压风机抱箍固定，调节变频器控制负压风机的功率以控制管道内气体的流速，从而控制气体腰轮流量计的两个同步齿轮及轴承磨合时的转速的技术方案，较好地解决了该问题，可用于对气体腰轮流量计的整表磨合。
- 尿液流量计-201721024263.1
- 鲁学会 - 重庆逸合峰生物科技有限公司
- 2017-08-14 - 2018-02-27 - G01F11/00
- 本实用新型提供了一种尿液流量计，包括壳体，壳体上部安装有进液管，壳体下部安装有出液管以及回液管，进液管一端用于接通车用尿素生产设备中的第一尿液输送管，出液管一端用于接通车用尿素生产设备中的第二尿液输送管，壳体内开设有测量腔，进液管上设置有进液阀；导液组件，其包括导液漏斗、导液软管、移动架以及升降气缸，导液漏斗设置于壳体测量腔内且能相对壳体移动；以及测量组件，其包括测量漏斗、测量软管、测量量杯、液位计、回液阀以及横向气缸，测量漏斗、测量软管、测量量杯以及液位计均置于测量腔内。该尿液流量计解决现有技术中因采用光感感应车用尿素生产设备中尿液输送管内尿液流速而导致测量精度不高的问题。
- 一种容积式流量计的立式安装结构-201720852693.6
- 刘杰;林健;汤宜成;吕健;李云泽 - 合肥精大仪表股份有限公司
- 2017-07-14 - 2018-01-19 - G01F11/00
- 本实用新型公开了一种容积式流量计的立式安装结构，包括壳体，壳体上下端分别安装有前盖和后盖，前盖上端中心依次安装有联轴器、调速器、计数器，壳体内设有一对转子轴，每个转子轴上套装有转子，转子上下方的转子轴上分别依次套装有盖板、压盖，转子上下方盖板与转子相对面上均嵌入安装有石墨垫板；转子上下方盖板、压盖、石墨垫板与转子轴之间均依次背靠背安装有滚动轴承和端面轴承；一对转子轴下端伸出下方的压盖并还套装有一对相互啮合的同步齿轮。本实用新型采用立式安装，既适用于某些安装空间受限的工况，方便操作者读取计数器显示的数值；轴承、石墨垫板的应用，增加了耐磨性，延长了产品的使用寿命的同时又保证了计量的准确度。
- 一种气排水气体计量装置-201710978014.4
- 涂勇 - 涂勇
- 2017-10-18 - 2018-01-16 - G01F11/00
- 本发明公开了一种气排水气体计量装置，该气排水气体计量装置包括支撑架、驱动结构及第一集气管与第二集气管，所述驱动结构竖直安装在所述支撑架上，且所述驱动结构能够输出沿周向的往复运动，所述第一集气管与所述第二集气管沿竖向对称安装在所述驱动结构上，在所述驱动结构的驱动下沿反向做升降运动，所述第一集气管与所述第二集气管的底部连通，所述第一集气管与所述第二集气管内部设有液体，所述第一集气管连接于进气软管，所述第二集气管连接于出气软管。本发明能够消除在采用气排水进行计量时由于液面变化而导致的计量误差。
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