[发明专利]准分子灯有效
| 申请号: | 200710148159.8 | 申请日: | 2007-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN101136307A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
| 发明(设计)人: | 远藤真一;竹添法隆;川口真孝;菱沼宣是 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号: | H01J65/04 | 分类号: | H01J65/04;H01J65/00 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;关兆辉 |
| 地址: | 日本国东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 分子 | ||
1.一种准分子灯,在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体,具有一对电极,两个电介质部件介于该一对电极之间,在该一对电极上施加高电压,进行放电,其特征在于:
在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的由电介质构成的支撑部件,
在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
2.根据权利要求1所述的准分子灯,其特征在于:
具有在上述放电容器的端部气密地封固的内部电极;和设置在该放电容器的外表面上的外部电极,该内部电极至少在与该外部电极之间进行放电的部位的周围被由电介质构成的内管覆盖,并且具有从该内管向该放电容器延伸的、由电介质构成的支撑部件。
3.根据权利要求1或2所述的准分子灯,其特征在于:
上述缓冲材料为氮化硼或以氮化硼为主要成分。
4.根据权利要求3所述的准分子灯,其特征在于:
上述氮化硼的至少一部分由六方晶系晶体构成。
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