[发明专利]显影剂溶液及用法

权利要求书

1.一种用于使光敏抗蚀剂显影的含水显影剂组合物，其包含：

a.碱度来源；和

b.下列结构所示的阳离子表面活性剂：

其中：R₁＝来自牛脂脂肪酸成分的脂肪酸基；

R₂＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-；

R₃＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-；

当x₂为0时R₄＝-H，当x₂不为0时R₄＝烷基、芳基或烷芳基；

所有x₁总和＝总计为3～30的整数；

所有x₂总和＝总计为0～15的整数。

2.如权利要求1所述的组合物，其中所述牛脂脂肪酸成分是从由肉豆蔻酸、肉豆蔻脑酸、十五烷酸、棕榈酸、棕榈油酸、硬脂酸、油酸、亚油酸、α-亚油酸和任意或所有前述成分的混合物组成的组中选出的。

3.如权利要求2所述的组合物，其中所述组合物还包含一种或多种选自由防泡剂和与水互溶的有机溶剂组成的组中的材料。

4.如权利要求1、2或3中任一所述的组合物，其中R₂为-CH₂CH(CH₃)O-。

5.如权利要求1、2或3中任一所述的组合物，其中R₃为H或-CH₂CH(CH₃)O-。

6.如权利要求1、2或3中任一所述的组合物，其中所有x₁的总和为总计是15的整数，且所有x₂的总和为总计是2的整数。

7.一种使涂布了抗蚀剂的表面显影的方法，所述方法包含：用显影剂组合物接触包含固化的抗蚀剂区域和未固化的抗蚀剂区域的所述涂布了抗蚀剂的表面，所述组合物包含：

a.碱度来源；和

b.以下结构的阳离子表面活性剂

其中：R₁＝来自牛脂脂肪酸成分的脂肪酸基；

R₂＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-；

R₃＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-；

当x₂为0时R₄＝-H，当x₂不为0时R₄＝烷基、芳基或烷芳基；

所有x₁总和＝总计为3～30的整数；

所有x₂总和＝总计为0～15的整数。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述牛脂脂肪酸成分是从由肉豆蔻酸、肉豆蔻脑酸、十五烷酸、棕榈酸、棕榈油酸、硬脂酸、油酸、亚油酸、α-亚油酸和任意或所有前述成分的混合物组成的组中选出的。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述组合物还包含一种或多种选自由防泡剂和与水互溶的有机溶剂组成的组中的材料。

10.如权利要求7、8或9中任一所述的方法，其中R₂为-CH₂CH(CH₃)O-。

11.如权利要求7、8或9中任一所述的方法，其中R₃为H或-CH₂CH(CH₃)O-。

12.如权利要求7、8或9中任一所述的方法，其中所有x₁的总和为总计是15的整数；且所有x₂的总和为总计是2的整数。