[发明专利]无掩模微成影中用时间和/或功率调制获得剂量灰度化无效
| 申请号： | 200410058823.6 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1580958A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 温赛斯劳·A.·赛布哈;贾森·D.·星特斯坦纳;艾扎特·拉迪普夫;杰拉尔德·沃尔皮 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无掩模微成影 中用 时间 功率 调制 获得 剂量 灰度 | ||
【说明书】：
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