[其他]压电陶瓷晶片切割机在审
| 申请号: | 101985000000706 | 申请日: | 1985-04-01 |
| 公开(公告)号: | CN85100706B | 公开(公告)日: | 1987-07-29 |
| 发明(设计)人: | 朱儒良;陈贵阳;沈志华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院东海研究站 |
| 主分类号: | 分类号: | ||
| 代理公司: | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人: | 张学琦 |
| 地址: | 上海市小木*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 陶瓷 晶片 切割机 | ||
1、一种压电陶瓷晶片切割机,它包括一个高速电动机(1),一个金刚石砂轮刀基座(2),一片金刚石砂轮薄刀片(3),一个冷却泵系统(6),其特征是:有一低速马达(5),带动一平移回转架(4)和一个固定在平移回转架上的凸面形模块(7);其金刚石砂轮薄刀片(3)由两块凹凸形的轻金属夹板(9)所固定。
2、根据权利要求1所述的切割机,其特征是平移回转架(4)由一低速马达带动,其转速在60~80转/分之间。
3、根据权利要求1所述的切割机,其特征是平移回转架(4)上的凸面形模块(7),可根据各种不同曲率的晶片随意调换。
4、根据权利要求1所述的切割机,其特征是所述的凸面形模块(7)的曲率半径与晶片的内曲面半径相同。
5、根据权利要求1所述的切割机,其特征在于轻金属夹板(9)是用铝或钛合金材料制成的。
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