[其他]压电陶瓷晶片切割机在审

专利信息
申请号: 101985000000706 申请日: 1985-04-01
公开(公告)号: CN85100706B 公开(公告)日: 1987-07-29
发明(设计)人: 朱儒良;陈贵阳;沈志华 申请(专利权)人: 中国科学院东海研究站
主分类号: 分类号:
代理公司: 中国科学院上海专利事务所 代理人: 张学琦
地址: 上海市小木*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 压电 陶瓷 晶片 切割机
【权利要求书】:

1、一种压电陶瓷晶片切割机,它包括一个高速电动机(1),一个金刚石砂轮刀基座(2),一片金刚石砂轮薄刀片(3),一个冷却泵系统(6),其特征是:有一低速马达(5),带动一平移回转架(4)和一个固定在平移回转架上的凸面形模块(7);其金刚石砂轮薄刀片(3)由两块凹凸形的轻金属夹板(9)所固定。

2、根据权利要求1所述的切割机,其特征是平移回转架(4)由一低速马达带动,其转速在60~80转/分之间。

3、根据权利要求1所述的切割机,其特征是平移回转架(4)上的凸面形模块(7),可根据各种不同曲率的晶片随意调换。

4、根据权利要求1所述的切割机,其特征是所述的凸面形模块(7)的曲率半径与晶片的内曲面半径相同。

5、根据权利要求1所述的切割机,其特征在于轻金属夹板(9)是用铝或钛合金材料制成的。

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